Semiconductor
製品テストの自動化ソリューション
SSELF™ for Semiconductor
- ユーザー設定による柔軟なテスト
- グリッド別、グループ別のさまざまなエラータイプの出力
- ウェハ/回路図フィルタリング・ツール提供による特定領域の選別検出サポート
- 客観的な検査結果導出
- 製品構成群
(ウェハ/回路図フィルタリングapplication、ウェハ/回路図不良検出 libraryまたはapplication）
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ユーザー設定による柔軟なテスト
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グリッド別、グループ別のさまざまなエラータイプの出力
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ウェハ/回路図フィルタリング・ツール提供による特定領域の選別検出サポート
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客観的な検査結果導出
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製品構成群
(ウェハ/回路図フィルタリングapplication、ウェハ/回路図不良検出 libraryまたはapplication）
微細スクラッチ検出
シリコン汚れ検出
特定領域の選別検出
検出されたエラーをウェハの物理座標x、y、thetaに変換、グループ別出力
一定したグリッド値を使用して、正規化されたエラー検出結果出力
回路の切断検出
回路の重なり検出
回路の長さ異常検出
回路図の特定領域の選別検出
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